获奖年度：
2000
奖励等级：
三等奖
编号：
数-3-008
项目名称：
磁过滤真空溅射离子沉积技术制备四配位非晶碳和碳氮超硬薄膜
完成单位：
中山大学
国家或省级：
省级
完成人：
陈弟虎 魏爱香 彭少麒
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