获奖年度：
2000
奖励等级：
三等奖
编号：
数-3-007
项目名称：
低温等离子体诊断技术及PECVD制备薄膜材料的应用
完成单位：
华南师范大学 中国科学院等离子体物理研究所 华中理工大学
国家或省级：
省级
完成人：
陈俊芳 刘颂豪 任兆杏 吴先球 刘祖黎 程绍玉
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