获奖年度：
2000
奖励等级：
三等奖
编号：
数-3-005
项目名称：
PCVD过程中等离子体的诊断技术
完成单位：
汕头大学
国家或省级：
省级
完成人：
林揆训 林璇英 姚若河 余云鹏 石旺舟 池凌飞
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