2012
三等奖
B08-0-3-02
DS-300管式全自动高效磷掺杂设备(扩散炉)
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
2012年度广东省科学技术奖
伍 波 张 勇 罗伟斌 欧阳泉 邓金生 李时仲 肖四哲